俄羅斯打破封鎖：自研350nm光刻機正式投入批量生產

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9月13日消息，俄羅據frontierindia報道，斯打鎖自生產俄羅斯正將其首臺自主研發的破封批量kaiyun網頁登錄入口350納米光刻機投入批量生產，首臺Progress STP-350計劃于2026年12月交付莫斯科Mapper公司。刻機這標志著俄羅斯重建本土半導體設備產業的正式重要里程碑。

第二臺機器計劃交付給Element集團旗下的投入Industry Solutions公司。更值得關注的俄羅是，俄羅斯已在著手研發130納米光刻技術，斯打鎖自生產首臺350納米光刻機或將成為其更大規模半導體設備研發進程的破封批量kaiyun網頁登錄入口開端。

澤列諾格勒納米技術中心（ZNTC）與白俄羅斯公司Planar合作，刻機開發了用于350納米工藝節點半導體生產的正式新型系統。盡管350納米工藝不如當前先進制程，投入但它對工業電子、俄羅功率器件、斯打鎖自生產汽車零部件和專用傳感器仍至關重要。破封批量

計劃于12月交付的設備，目的不僅是新增一臺工廠設備，更在于表明俄羅斯已完成從實驗室研發到光刻系統批量生產的過渡。

Mapper是首家客戶，隸屬于俄羅斯國家技術集團公司（Rostec），并通過Shvabe控股公司與該公司關聯。Element集團旗下Industry Solutions計劃接收第二套量產系統。兩套系統將分別整合到與俄羅斯國內微電子生態系統相關的企業中。

Progress STP-350是一款投影式步進光刻機，可將光掩模上的圖案轉移到半導體襯底上。其曝光區域尺寸為22毫米 x 22毫米，工藝分辨率為350納米。該設備更適合成熟節點半導體制造，而非尖端邏輯器件生產，因為它能夠處理直徑達200毫米的晶圓。

俄羅斯宣布，下一代國產光刻系統預計將于2027年投入使用，該系統能夠生產130納米芯片。從350納米過渡到130納米，將大幅擴展俄羅斯國內可開發的半導體應用范圍。